半导体制冷冷水机的核心是 “半导体制冷模块(TEC)+ 水循环系统 + 智能温控系统" 的协同工作,各部分功能如下:
负责将 TEC 制冷端产生的冷量传递给负载,并将散热端的热量导出,由以下部件组成:
冷水箱:存储循环介质(去离子水或防冻液,防止结垢和低温冻结),容积根据负载流量需求设计(通常 1-10L);
微型水泵:提供稳定流量(0.5-5尝/尘颈苍),需低噪音、无脉动(如磁力驱动泵,避免介质泄漏);
管路与接头:采用耐腐蚀材料(如 PTFE、316 不锈钢),减少流阻和热损失;
散热系统:TEC 散热端需高效散热(否则会降低制冷效率甚至烧毁模块),常用方案:
实现精准温度调节(精度可达 ±0.1℃),核心组件包括:
温度传感器:贴附于负载或循环水路,常用 PT100(精度 ±0.1℃)或 NTC(成本低,适合民用场景);
PID 控制器:根据传感器反馈实时调节 TEC 电流(如通过 PWM 信号控制驱动电源),抑制温度波动;
人机交互界面:触摸屏或按键,可设置目标温度(通常 5-35℃,低温型可达 - 10℃)、报警阈值(如超温、断流)。
半导体制冷的能效比(COP = 制冷量 / 输入功率)较低(通常 0.3-0.8,远低于压缩机制冷的 2-4),需通过以下设计提升效率:
减小温差:控制 TEC 制冷端与负载的温差(≤5℃)、散热端与环境的温差(≤10℃),可通过高导热材料(如铜块、石墨烯垫片)减少接触热阻;
分级制冷:大功率场景采用多 TEC 模块并联(如 4 个 100W 模块组成 400W 系统),并匹配独立散热通道,避免局部过热;
自适应功率调节:通过 PID 动态调整 TEC 电流(而非满功率运行),在负载热波动时(如半导体设备间歇工作)减少能耗。
当制冷温度低于环境露点时,水路或负载表面易结露(导致短路或腐蚀),需设计:
露点监测:在循环水路加装湿度传感器,当接近露点时自动提高目标温度(如从 10℃升至 15℃);
保温与加热:管路外包覆保温棉(如橡塑海绵),关键部位(如接头)内置微型加热片,防止局部结露;
低温防冻:环境温度<0℃时,自动启动加热模式(TEC 反向制热),或使用防冻液(如乙二醇溶液,浓度 30% 可耐 - 15℃)。
过流 / 过温保护:TEC 长期满功率运行易老化,需设置电流上限(如额定电流 1.2 倍)和散热端温度阈值(如>60℃停机);
水路冗余:重要场景(如半导体晶圆测试)采用双水泵备份,断流时自动切换;
抗干扰:温控信号与 TEC 驱动电路隔离(如光电耦合),避免电磁干扰(EMI)影响负载(如精密传感器)。